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真空高低温步进电机丝杆平台 真空高低温步进电机丝杆平台//真空高低温步进电机丝杆平台

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公 司: 北京星微自动化科技有限公司 
发布时间:2016年07月05日
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樊振华 先生 (经理)
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手  机: 18201099680
地  址: 中国北京通州区东果园18号楼
邮  编: 101100
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公 司:北京星微自动化科技有限公司

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详细说明

    行程: 50 to 250mm;
分别率:1um/步;
无回滞,刚性强;
承载能力:20kg;
可堆叠 XYZ三轴平台
真空度:1 x 10-10 mBar;
烘烤温度:200°C;
交叉滚子轴承;
防辐射: 1 x 106 Gy ;
可以根据客户要求定制;
规格
单位
LTVL
LTVH
行程
mm
50/ 100 / 150 /200 /250
50/ 100 / 150 /200 /250
整步分别率
μm
5
1
*大速度
mm/s
15
4
推荐真空环境中速度
mm/s
2
0.8
重复定位精度
μm
1
0.2
水平负载能力
kg
20
20
负载力矩
Nm
<5
<5
轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A
kg
3
10
间隙
μm
0
0
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载
μrad
<25
<25
Roll Compliance
μrad/Nm
33
33
Pitch & Yaw Compliance
μrad/Nm
33
33
直线度
μm
<1.3μm / 100mm
<1.3μm / 100mm
使用步进电机

D35.1
D35.1
真空度
mBar
1 x 10-10
1 x 10-10
*大恩度
°C
200
200
MTBF (5kg负载和30%占空比)
hrs
15,000
10,00


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